1. 报警指示灯
LED灯全亮，则需要检查风扇以及连接线是否连接错误(顺序)
LED不亮，检查主电源连接的保险丝以及电压是否正常
2. 报警指示 I
2.1 TEMP温度报警：保证臭氧管的电源模块安全，监控半导体电源的温度，如果超过一定的温度，ECOPS将进入报警模式，切断臭氧工作
检查冷却水的温度(10-20℃)
检查电磁阀V2(V1)，控制冷却水的流量阀门，通过OCU中手动同时按下START/STOP按钮，将会听到电磁阀开关的声音
2.2 LINE报警：无论是3-phase/1-phase，如果电压大于或者小于电源供给的±10%，ECOPS会自动切换到报警模式，切断臭氧
电压模式的选择要正确
对于3-phase接线，如果L3保险丝忘记装上，则LINE报警灯也会显示
自动模式下运行澳尼斯人娱乐官方网址-(潍坊)有限公司，如果所有LED灯短暂的亮一下，没有报警，则臭氧可以继续
如果ECOPS在短时间内反复重启，则最终将切换到报警模式
2.3 LOAD U 报警：ECOPS可以调节臭氧管式的电压(如果需要调节的时候)，如果过载，则ECOPS将会切换到报警模式，切断臭氧
氧气的压力太低
外部通入的气体不是氧气
检查工艺管体里面是否有水
如果有冷却水进入工艺气体臭氧管路，则需要更换新的澳尼斯人娱乐官方网址-(潍坊)有限公司
气体管路连接处有水分或者湿度，也会导致Overload，需要用纯净的N2或者氧气吹扫20分钟
要保证氧气的供给符合设备的技术参数，露点温度一定要小于-40℃
2.4 LOAD I 报警：如果电流出现失调，则会出现此报警
氧气压力太高
外部通入的工艺气体不是氧气
检查冷却水的水质(电导率要大于50uS/cm，电阻小于20kOhm*cm)，一定不能用DI水作为冷却水使用!!!
要保证冷却水里面没有气泡
2.5 ECOPS LOAD U和LOAD I 同时出现报警：电源内部发生故障，需要联MKS
2.6 ECOPS的特性曲线：氧气的压力/冷却水的电导率以及其他因素都会影响放电的频率，工作运行中指定参数外会引起臭氧报警，图中的灰色区域会导致臭氧报警，而特性曲线中的则不会引起报警
3. 报警指示Ⅱ
3.1 EXT.ALARM (外部报警) ：报警输入通道由D-SUB 15 PIN中的(PIN6&PIN13)接口连接，只要没有电流流过光电耦合二极管，则ECOPS就会保持报警状态，如果澳尼斯人娱乐官方网址-(潍坊)有限公司在Operator模式，如果报警输入没有电流，则会停止澳尼斯人娱乐官方网址-(潍坊)有限公司，模式切换为Alarm模式。
检查其中一种external Alarm(外部报警)，比如像TLV-Alarm
检查external Alarm的接线
检查D-SUB的全部插头是否紧固
用桥接线插头连接MOD的EXTERNAL，如果EXTERNAL ALARM 消失，则要检查信号接口
ECOPS中电源的保险丝F3可能被烧断，需要找出具体原因
3.2 SENSOR RETIRED (传感器失效)：通过ECOPS监测氧气传感器B1，如果氧气值超过一定值，则ECOPS会切换到Alarm模式，停止臭氧工作，这可能是因为安装时的高气压，导致一部分低压氧气泄漏到空气中。
如果SEMOZON中有水泄露，也会导致SENSOR RETIRED报警
更换氧气监测传感器
更换传感器之前，先检查一下CSC板上的接线(两边的插头连接线)
3.3 WATER FLOW 报警：要保证冷却水的最小流量为0.36m³=6L/min=1.59gal(us)/min，如果低于此流量，则ECOPS切换到报警模式，切断澳尼斯人娱乐官方网址-(潍坊)有限公司。
检查冷却水的流量
3.4 COOLING 报警：除冷却水的流量之外，测量管式臭氧冷却水出水的温度，最好使冷却水温度低于15℃，以便不触发温度传感器
检查冷却水的温度
使冷却水的温度低于15℃
3.5 COVER SWITCH 报警：如果澳尼斯人娱乐官方网址-(潍坊)有限公司盖板打开，ECOPS 报警将触发,臭氧被切断，要保证澳尼斯人娱乐官方网址-(潍坊)有限公司的盖板盖好，所有螺丝紧固
3.6 GAS LEAKAGE 报警：如果澳尼斯人娱乐官方网址-(潍坊)有限公司没有排风，则可能在操作过程中密封不好泄漏到空气中，如果气体泄漏，则氧气或者臭氧渐渐增加，当柜中的传感器监测氧气浓度≈27%时(新的传感器)，ECOPS将会报警，切断澳尼斯人娱乐官方网址-(潍坊)有限公司
对所有的气体管路进行紧固，增加密封性
以上是澳尼斯人娱乐官方网址-(潍坊)有限公司报警时可能出现的现象以及部分原因，如果通过以上方法仍然没有解决问题，建议联系MKS厂家，如果不足之处，敬请谅解。
